Mask光罩缺陷檢查機

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TSL-SP7-LS Series：

適用2um以上的圖形檢測，最小缺陷可檢測0.75um。
光罩尺寸可放置800*700mm，客製化可修改成850*960mm。
提供SP7-LS3 / SP7-LS2 兩種型號，搭配更靈活。
光罩檢測模式有DRC(Design Rule Check)及資料比對(Data Referernce)可同時運行檢測，確保在適合的參數下發現產品的缺陷。

光罩放置治具，靈活調整

HEPA空氣過濾系統可加裝

螢幕距離可調整，操作更靈活

播放 LS-Series 檢測示意影片

TSL-SP7-LS Series外觀預覽

總覽 特色功能 檢查能力 型號規格比較 可選購項目