雷射修補機


總覽

機台簡介

使用的雷射為Nd:YAG雷射1064nm波長之高功率雷射模組,Nd:YAG雷射是以固體材料做工作物質的雷射稱為固體雷射。其工作物質主要有晶體及玻璃兩大類。典型的晶體雷射有Nd3+︰YAG及Cr3+︰Ruby雷射。玻璃雷射的代表是Nd:Glass雷射。所有的固體雷射均為用光學泵浦方法來獲得雷射,其光泵有非相干光源(普通的閃光燈及弧光燈),也有用相干光源(如用半導體雷射)。優點具有連續與脈衝兩種型態可直接以雷射定位。

配合底片修補液,修補底片或光罩並且修補線路短路區域以及金屬性污點使用氣壓平衡避震平台,提供穩定的工作平台 多種修補輔助光源,藉以提升修補速度提供修補點長寬以及角度旋轉調整簡易的X、Y、Z軸操作介面。

結合AOI系統並可讀取缺點座標位置,無須再由人工尋找缺點座標位置。

特色說明

  • 使用1064nm波長雷射模組
  • 提供修補點長寬及角度旋調整
  • 多種修補輔助光源,以提升修補速度
  • 可修補光罩及底片上金屬性污點及金屬性異物
  • 配合底片修補液,修補刮傷及坑洞部份
  • 三種顯示倍率

產品優勢

  • 針對全尺寸液晶模組面板,提供客製化的整合型新開發設計。
  • 整合即時檢測及雷射修補的功能,達成檢修同步之最佳效益。
  • 擁有高精確度缺陷處理能力。
  • 簡單明瞭的直覺式操作介面
  • 結合AOI系統,可以直接讀取缺陷座標位置,解決電測後人工尋找缺陷位置。

規格效能

機型 Laser Repair
適用範圍 底片/光罩/ITO
雷射類型 Nd-YAG Laser
波長 1064/532nm
顯微鏡頭 Mitutoyo
鏡頭倍率 2x  、5x  、20x
脈衝 Q-Switch
能源 1-5mJ/pulse
調整差值 Within±10um
工作平台 自動氣壓平衡避震平台
工作範圍 560x400x100mm(X.Y.Z軸)
解析讀數 Glass Scales 10um
顯示器 22" LCD Monitor
取像/顯示系統 CCD解析度780*580
表面燈源 同軸光(無段可調)
修補點模式 可調長型/方型及θ角(左右45度)
X.Y.Z電控5段速度調整  
重複精度 10um
操作方式 Manual按鍵式

實際修補效果