TSL-SP7-LS 系列可檢測 1 至 0.75 微米的極小缺陷。其高解析度取像系統配合自主研發 LED 光源，使最微小的缺陷也能被清晰捕捉。
系統能夠檢測各種類型的圖形，無論是簡單還是複雜，均能提供全面的檢測能力，保證檢測的準確性和完整性。
光罩放置平台採用無段式可微調設計，標準尺寸為 800 x 700 mm，客製化需求可調整至 850 x 960 mm，滿足不同規格的需求。
取像系統配備自動對焦（AF）技術，確保每一個檢測畫面都清晰銳利，杜絕缺陷漏檢。
設備設計預留加裝 HEPA 空氣過濾系統的空間，如有更高潔淨度需求可選配，保證檢測環境的潔淨度。
TSL-SP7-LS 系列設備與工作站整合，空間有效利用，占地僅約 W1450 x D1650 x H1600 毫米，適合各類實驗室和生產線布局。
