底片/光罩檢查機


TSL-FVT-DX6.0

應用

透過光學取像系統,快速檢視底片/光罩上的各種缺陷,降低因底片/光罩不良而造成的報廢和損失,以提升產品質量。具備可變倍率鏡頭組,可以針對不同規格的待測物進行調整,泛用性更高。

性能特點

檢查速度:
    < 40 sec 5 µm/pixel (檢查範圍:500 x 400mm)
檢查能力:
  • 最小線寬/距:15 µm 以上
  • 最小可檢出缺陷:5 µm
  • 可調倍率鏡頭:1.5~5.5 um/pixel
檢測模式 (DRC邏輯比對):
  • 各式AI人工智慧,模擬人眼檢查邏輯
  • 操作簡單,不需外部資料
  • 可檢查不規則斷裂/連結、針孔、汙點、不規則凹凸、線寬/距不足…等缺陷。
簡易的參數設定:
    自動核心參數、移去塵埃、忽略空曠區、忽略模型…等。
所見即所得:
    當參數或影像改變時,軟體會自動更新缺點框。讓即時影像隨時顯示新參數的缺點判定結果。
Review on Fly:
  • 無須任何等待掃描完畢的時間,即可進行缺點複檢
  • 從檢測開始到等待複檢時間等於0秒
  • 缺點預覽模式,同時預覽多張缺點,加快複檢時間
量測功能:
    線寬、線距、圓形、矩形、斜矩形、中心距、物間距、長距離量測。
即時切換多國語言:
    切換多國語言不需重開軟體,適合多語言環境。(繁體中文、簡體中文、英文、日文)
電腦備援系統:
    雙硬碟/雙作業系統,快速解決系統異常,即時切換,機台不停滯。
自動蓋印功能:
    即時標記缺陷位置於底片。