鋼版檢查機


型號規格比較


【 各類型基本介紹 】

機型 MVS 4 MVS 6
待測物種類 鋼版
最適孔徑 80 um  以上 30 um 以上
最小可檢缺陷 12 um 5 um
像素解析度 (um/pixel) 4.0~6.6 1.5~5.5
最大待測物W x D x H(mm) 750 x 750 x 50
最大檢測面積(mm*mm) 880 x 700
DRC檢測
即時資料比對與網路比對 選配
Review on Fly
資料處理工作站 選配
量測功能
單畫面精度
長距離精度
圓型, 線寬, 線距, 矩形, 旋轉矩形, 中心距, 物間距, 長距離
 ±1 pixel
±15um@600mm
即時語言切換 繁體中文、英文、簡體中文、日文
檢測範圍 (mm)
掃描時間
等待複檢時間
500 x 400
< 90 sec @ 5.0 um/pix
0 sec
500 x 400
< 35 sec @ 5.0 um/pix
0 sec
尺寸(mm) W 1450 x D 1650 x H 1640
重量(kg) 約1000 kg
電力需求 220V(50Hz/60Hz)  1 phase/ under 3KVA with Ground Wire