| 產品名稱 | TSL-SP7-LS3 | TSL-SP7-LS2 |
|---|---|---|
| 產品簡述 | 適用最小線寬/距3um以上 最小檢測缺陷1um |
適用最小線寬/距2um以上 最小檢測缺陷0.75um |
| 待測物種類 | Mask | |
| 可放置尺寸 | 800mm X 700mm | |
| 可檢測區域 | 750mm X 650mm | |
| 檢測時間 | < 50min (500mm X 400mm 檢測面積估算) |
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| 檢測模式 | DRC+REF | |
| 檢測缺點類型 | 汙點/毛屑/刮痕/灰塵/破損/指紋 | |
| 資料比對功能 | ||
| 資料比對檢測項目 | Open/Short、針孔、汙點、刮傷 、圖像偏移、圖像尺寸錯誤等。 |
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| 光罩圖案檢查能力 | 適用最小線寬/距為3um以上， 最小檢測缺陷1um。 |
適用最小線寬/距為2um以上， 最小檢測缺陷0.75um。 |
| 資料比對工作站 | ||
| 可讀取格式 | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC功能 | ||
| 自動化進料系統 | ||
| HEPA保護系統 | 可選購 | 可選購 |
| 即時自動對焦 | ||
| 電腦備援系統 | ||
| 大容量儲存空間 | 可選購 | 可選購 |
| 機台外型尺寸 | W1450 X D1650 X H1600 (mm) | |
