Mask光罩缺陷檢查機

檢查能力

Mask光罩圖形缺陷檢查項目

針孔

光罩圖形上的針孔點

汙點

光罩上的汙點或落塵

刮傷

光罩圖形上的刮傷

毛屑

光罩上的毛屑掉落物

缺口/凸出

缺口/凸出

光罩圖形上的缺口/凸出

短斷路

短斷路

光罩圖形上的短斷路

圖像大小改變

圖像大小改變

光罩圖像的大小變化

圖像位移

圖像位移

光罩圖像上發生位移

TSL-SP7-LS Series外觀預覽

總覽 特色功能 檢查能力 型號規格比較 可選購項目