底片/光罩檢查機


檢測能力

DRC邏輯比對

模擬人眼檢測,當底片/光罩的影像違反設計慣例時,即被判定為缺點,可減缺點類型如下:針孔、刮傷、毛屑、汙點、意外凸出、意外凹陷、短路、斷路。可運用參數篩選需要的缺點,藉以提高工作效率。不需要提供額外的比對資料即可掃描缺點。

使用簡便 < Easy to Use >

操作流程簡易,僅需要設定起始和終點,即可進行掃描。

調整容易 < Easy to Control >

可由人工智慧判斷當前最適合的掃瞄核心參數,迅速找到最恰當的參數設定。配合所見及所得特性,調整參數即時可見。

忽略空曠區 < Ignore blank area >

可忽略線路區域之外的不重要汙點。

忽略塵埃 < Dust sweeping >

根據灰塵的透明度做設定,可忽略透明度較高的汙點。

忽略模型設定 < Skipped model verification >

檢測線路設計上的尖角或是其他類型的假缺點,可使用忽略模型進行過濾。

資料比對

即時影像與標準資料比對,可檢測遺漏或增加的圖像、圖像偏移及圖像大小的改變;並可同時運作DRC邏輯比對,不需要重複掃描耗費額外的時間。

點陣式資料比對< Raster data reference >

檢測圖形增減、圖形偏移、大小改變等缺陷。

向量式資料比對< Vector data reference >

加強線路邊緣凸起或凹陷等缺點的檢測能力。

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