底片/光罩檢查機


型號規格比較

【 各類型基本介紹 】

機型 TSL-FVT-EX4 TSL-FVT-DX6.0 TSL-FVT-DX6.5 TSL-FVT-DX6 Super TSL-FVT-DX6 Super high TSL-FVT-DX6 Super high plus
檢查種類 底片 底片/光罩 底片/光罩 光罩 光罩 光罩
適用的最小線路 40 um↑ 15 um↑ 15 um↑ 8.5 um↑ 6.5 um↑ 4.5 um↑
可檢測最小缺陷 12 um 5 um 5 um 3 um 2 um 1.5 um
檢測缺點類型 針孔、汙點、異物、水漬陰影、短/斷路、線寬/距不足、線路缺口、異物突出等
DRC邏輯檢測
資料比對檢測
Review on Fly
待測物放置面積(mm) 底片840*665 底片945*790
光罩800*700
底片945*790
光罩800*700
光罩800*700 光罩800*700 光罩800*700
可檢測最大面積(mm) 底片700*600 底片880*700
光罩750*650
底片880*700
光罩750*650
光罩750*650 光罩750*650 光罩750*650

【 檢測所需時間 】
(檢測範圍500*400 mm)
機型 TSL-FVT-EX4 TSL-FVT-DX6.0 TSL-FVT-DX6.5 TSL-FVT-DX6 Super TSL-FVT-DX6 Super high TSL-FVT-DX6 Super high plus
等待複檢時間 0秒 0秒 0秒 0秒 0秒 0秒
完成時間 < 90秒 < 35秒 < 35秒 < 10分 < 17分 < 50分
解析度 5 um/pixel 5 um/pixel 5 um/pixel 0.84 um/pixel 0.63 um/pixel 0.36 um/pixel

【 機台架構說明 】

機型 TSL-FVT-EX4 TSL-FVT-DX6.0 TSL-FVT-DX6.5 TSL-FVT-DX6 Super TSL-FVT-DX6 Super high TSL-FVT-DX6 Super high plus
機台尺寸/重量 W1500*D1500*H1600(mm) / 約780 kg W1450*D1650*H1640(mm) / 約1000kg
電力需求 220 volt 1 phase 3KVA with Ground Wire
光罩支撐架 選購 選購 選購 原機配置 原機配置 原機配置
自動對焦系統
工作站
備註說明

1. 承襲DX6.0所有功能,並增加資料比對檢測模式。

2. 配備資料比對工作站,前置作業不佔用機台檢測時間。

1.檢測類別以光罩為主,適用於高階線路檢測。

2.具有DRC邏輯檢測和資料比對檢測。

3.此機種具備自動對焦功能,主要克服高倍率檢測時,待測物因為變形所造成的離焦情況。

1.檢測類別以光罩為主,適用於高階線路檢測。

2.具有DRC邏輯檢測和資料比對檢測。

3.此機種具備自動對焦功能,主要克服高倍率檢測時,待測物因為變形所造成的離焦情況。

1.檢測類別以光罩為主,適用於高階線路檢測。

2.具有DRC邏輯檢測和資料比對檢測。

3.此機種具備自動對焦功能,主要克服高倍率檢測時,待測物因為變形所造成的離焦情況。