Maskガラスマスク検査機

概要

TSL-SP7-LS Series：

検査可能対象は2um以上の図形。検査可能な最小欠陥は0.75um。
乗せられるガラスマスクサイズは800*700mm。カスタマイズで850*960mmにすることが可能。
SP7-LS3 / SP7-LS2 の二種類の機種があり、需要に応じ活用できる。
ガラスマスク検査モードには、DRC(Design Rule Check)とデータ比較(Data Referernce)があり、同時に使用することが可能で、適したパラメータで製品の欠陥を確実に検出できる。

ガラスマスクを乗せる治具。フレキシブルに調整可能。

HEPA空気濾過システム取り付け可能

スクリーンの位置は調整可能。操作がより便利に。

LS-Series検査機紹介動画

TSL-SP7-LS Series外観

概要 機能紹介 検査能力 タイプ別規格比較 選択購入可能な項目