| 製品名称 | TSL-SP7-LS3 | TSL-SP7-LS2 |
|---|---|---|
| 製品概要 | 検査可能な最小線幅/線距離は3um 検査可能な最小欠陥は1um |
検査可能な最小線幅/線距離は2um 検査可能な最小欠陥は0.75um |
| 検査対象 | Mask | |
| 置けるガラスマスクのサイズ | 800mm X 700mm | |
| 検査可能範囲 | 750mm X 650mm | |
| 検査時間 | < 50min (検査面積500mm X 400mmの場合での推測) |
|
| 検査モード | DRC+REF | |
| 検出可能な欠陥種類 | 汚れ/毛/ひっかき傷/塵/破損/指紋 | |
| データ比較機能 | ||
| データ比較検査可能項目 | Open/Short、ピンホール、汚れ、ひっかき傷 、画像位置ずれ、画像のサイズ違いなど。 |
|
| ガラスマスク図形検査能力 | 検査可能な最小線幅/線距離は3um 検査可能な最小欠陥は1um。 |
検査可能な最小線幅/線距離は2um 検査可能な最小欠陥は0.75um。 |
| データ比較ワークステーション | ||
| 読み込み可能なファイルタイプ | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC機能 | ||
| 自動で材料を置くシステム | ||
| HEPA保護システム | 選択購入可能 | 選択購入可能 |
| 即時オートフォーカス | ||
| コンピューターバックアップシステム | ||
| 大きなストレージ容量 | 選択購入可能 | 選択購入可能 |
| 検査機サイズ | W1450 X D1650 X H1600 (mm) | |
