TSL-SP7-LSシリーズは1~0.75umの欠陥を検出できる。高解像度の撮影システムと、弊社自力開発のLED照明をもって、小さな欠陥でも確実に発見できる。
各種類の図形を探知することが可能。簡単な図形でも、複雑な図形でも、全面的な検査能力が揃っており、検査の確実性を保証できる。
ガラスマスクを置くステージは、区切りなしで微調整が可能なデザイン。標準配置は、800 x 700 mm。カスタマイズで、850 x 960 mmに調整することが可能で、各規格のガラスマスクに対応できる。
撮影システムにはオートフォーカス機能（AF）取が搭載されており、検査画面がいつでも明晰であることを保証でき、欠陥検出漏れを避けられる。
弊社検査機は、HEPE空気濾過システムを取り付けるスペースを予め保留している。清潔に拘りがある場合は、選択購入してみてください。清浄な環境を保証できる。
TSL-SP7-LSシリーズは、検査機本体とワークステーションを一つにしたデザイン。スペースを有効的に使える。使用するスペースは、約W1450 x D1650 x H1600 mmだけで、様々な実験室や生産ラインに対応できる。
