| タイプ | TSL-PEL-DRC | TSL-PEL-REF |
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| 製品概要 | Pellicleレイヤーの塵/ひっかき傷の検査に使う | Pellicle各レイヤーの塵/ひっかき傷の検査に使う ガラスマスク図形の破損やピンホールなどの欠陥が検出可能 |
| 検査対象種類 | Pellicle + Mask | |
| 置ける製品のサイズ | 12インチのガラスマスクケース | |
| 検査可能面積 | 300mm X 300mm/カスタマイズ可能 | |
| 検査時間 | < 15min (レイヤーごと) | |
| 検査モード | DRC | DRC+REF |
| 検査可能エリア | pellicle 上 -A pellicle下 -B 光罩ガラスマスク上 -D ガラスマスク裏 -C |
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| 検出可能な欠陥 | 汚れ/毛/ひっかき傷/塵/破損/指紋 | |
| データ比較機能 | ||
| データ比較検査可能項目 | Open/Short、ピンホール、汚れ、ひっかき傷 、図形位置ずれ、図形サイズ誤りなど。 |
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| ガラスマスク図形検査能力 | 検査可能な最小線幅/線距離は2um 検査可能な最小欠陥は0.75um。 |
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| データ比較ワークステーション | ||
| 読み込み可能ファイルタイプ | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC機能 | ||
| 自動で製品を置くシステム | ||
| 塵の検出可能な最小サイズ | 0.5um | |
| HEPA保護システム | ||
| リアルタイムでオートフォーカス | ||
| コンピューターバックアップシステム | ||
| 保存ストレージが大きい | ||
| 検査機サイズ | W1530 X D2150 X H 1800 | |
