光学薄膜(Pellicle)は、半導体製造と他の光学応用においては、大事な鍵であります。 その品質は完成品の性能と確実性を直接に影響を与えます。
本機種は、ガラスマスクとPellicleの各レイヤーに対して詳しく検査を行います。下の図Aと図Bと図Cと図Dのように、全てのレイヤーが検査されており、全てのレイヤーの品質が基準を満たすことを保証できます。
