Mask Inspection system

検査対象より一番適した機種を紹介。
カスタマイズができ、機能が完備していてフレキシブルに運用できる。
フィルム / ガラスマスク / メタルマスク / Pellicle(光学薄膜) が検査可能。

ガラスマスク検査可能面積が大きい。小さな欠陥でも検出できる。オートフォーカス機能でピントが合わない悩みを解決。解像度が高い。検出可能な最小欠陥は0.75um。

TSL全シリーズ検査プロセス動画