| 产品名称 | TSL-SP7-LS3 | TSL-SP7-LS2 |
|---|---|---|
| 产品简述 | 适用最小线宽/距3um以上 最小检测缺陷1um |
适用最小线宽/距2um以上 最小检测缺陷0.75um |
| 待测物种类 | Mask | |
| 可放置尺寸 | 800mm X 700mm | |
| 可检测区域 | 750mm X 650mm | |
| 检测时间 | < 50min (500mm X 400mm 检测面积估算) |
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| 检测模式 | DRC+REF | |
| 检测缺点类型 | 污点/毛屑/刮痕/灰尘/破损/指纹 | |
| 数据比对功能 | ||
| 数据比对检测项目 | Open/Short、针孔、污点、刮伤 、图像偏移、图像尺寸错误等。 |
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| 光罩图案检查能力 | 适用最小线宽/距为3um以上， 最小检测缺陷1um。 |
适用最小线宽/距为2um以上， 最小检测缺陷0.75um。 |
| 数据比对工作站 | ||
| 可读取格式 | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC功能 | ||
| 自动化进料系统 | ||
| HEPA保护系统 | 可选购 | 可选购 |
| 实时自动对焦 | ||
| 计算机备援系统 | ||
| 大容量储存空间 | 可选购 | 可选购 |
| 机台外型尺寸 | W1450 X D1650 X H1600 (mm) | |
