Mask光罩缺陷检查机

检查能力

Mask光罩图形缺陷检查项目

针孔

光罩图形上的针孔点

污点

光罩上的污点或落尘

刮伤

光罩图形上的刮伤

毛屑

光罩上的毛屑掉落物

缺口/凸出

缺口/凸出

光罩图形上的缺口/凸出

短斷路

短断路

光罩图形上的短断路

圖像大小改變

图像大小改变

光罩图像的大小变化

圖像位移

图像位移

光罩图像上发生位移

TSL-SP7-LS Series外觀預覽

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