| 机型 | TSL-PEL-DRC | TSL-PEL-REF |
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| 产品简述 | 用于检测Pellicle层的灰尘/刮伤 | 用于检测Pellicle各层的灰尘/刮伤 可检查光罩上图案破损、针孔等 |
| 待测物种类 | Pellicle + Mask | |
| 可放置尺寸 | 12吋光罩盒 | |
| 检测面积 | 300mm X 300mm/可客制化 | |
| 检测时间 | < 15min (单层) | |
| 检测模式 | DRC | DRC+REF |
| 可检测区域 | pellicle 上 -A pellicle下 -B 光罩图形上 -D 光罩背面 -C |
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| 检测缺点类型 | 污点/毛屑/刮痕/灰尘/破损/指纹 | |
| 数据比对功能 | ||
| 数据比对检测项目 | Open/Short、针孔、污点、刮伤 、图像偏移、图像尺寸错误等。 |
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| 光罩图案检查能力 | 适用最小线宽/距为2um以上， 最小检测缺陷0.75um。 |
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| 数据比对工作站 | ||
| 可读取格式 | RS274X、ODB++、GDSII、DXF | |
| DRC功能 | ||
| 自动化进料系统 | ||
| 可测最小灰尘 | 0.5um | |
| HEPA保护系统 | ||
| 实时自动对焦 | ||
| 计算机备援系统 | ||
| 大容量储存空间 | ||
| 机台外型尺寸 | W1530 X D2150 X H 1800 | |
