Mask光罩缺陷检查机

總总览

TSL-SP7-LS Series：

适用2um以上的图形检测，最小缺陷可检测0.75um。
光罩尺寸可放置800*700mm，客制化可修改成850*960mm。
提供SP7-LS3 / SP7-LS2 两种型号，搭配更灵活。
光罩检测模式有DRC(Design Rule Check)及资料比对(Data Referernce)可同时运行检测，确保在适合的参数下发现产品的缺陷。

光罩放置治具，灵活调整

HEPA空气过滤系统可加装

萤幕距离可调整，操作更灵活

播放 LS-Series 检测示意影片

TSL-SP7-LS Series外觀預覽

总览 特色功能 检查能力 型号规格比较 可选购项目