主要是因为光学薄膜(Pellicle)在半导体制造和其他光学应用中扮演关键的角色， 其质量直接影响到最终产品的性能和可靠性。
此机种针对光罩及Pellicle的各个层别进行详细检测，确保每一层的质量皆符合标准，如下图ABCD皆有检测。
