TSL-SP7-LS 系列可检测 1 至 0.75 微米的极小缺陷。其高解析度取像系统配合自主研发 LED 光源，使最微小的缺陷也能被清晰捕捉。
系统能够检测各种类型的图形，无论是简单还是复杂，均能提供全面的检测能力，保证检测的准确性和完整性。
光罩放置平台采用无段式可微调设计，标准尺寸为 800 x 700 mm，客制化需求可调整至 850 x 960 mm，满足不同规格的需求。
取像系统配备自动对焦（AF）技术，确保每一个检测画面都清晰锐利，杜绝缺陷漏检。
设备设计预留加装 HEPA 空气过滤系统的空间，如有更高洁净度需求可选配，保证检测环境的洁净度。
TSL-SP7-LS 系列设备与工作站整合，空间有效利用，占地仅约 W1450 x D1650 x H1600 毫米，适合各类实验室和生产线布局。
