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TSL-FVT-Super plus 光罩檢查機                                                回首頁

 

                     資料比對功能

v 影像比對、離線影像比對、網路比對
v 資料比對過程中還可同時檢測DRC邏輯比對；
     並且可以設定不測區域提升工作效率

影像比對(Image comparison)
‧即時影像與工作檔案做比對，著重於檢測底片上遺漏的PAD、圖像的偏移
   及圖像大小的改變，並可同時運作邏輯比對檢測
‧顯示的方式利用反白更能夠表現出缺點位置
 
        ▽工作檔案                      ▽即時影像                       ▽比對結果
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離線影像比對
‧原始資料與底片影像做比對，以檢測出規則且完整的缺點；例如多PAD或
    少PAD以及線路偏移

        ▽工作檔案                     ▽掃描影像檔                      ▽比對結果
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網路比對(NET. comparison)
‧客戶原始資料和配合製程需求所修改的CAM資料相比對，確保網路資料不會因
    人為疏失造成錯誤。不針對圖形檢測，重點在於檢測線路是否有OPEN、
    SHORT、MISS、PARTICAL

  淚滴(成功比對)   
         ▽原始資料                      ▽CAM資料                       ▽比對結果 
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  短路(紫色=短路)  

          ▽原始資料                      ▽CAM資料                       ▽比對結果
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