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TSL-FVT-Super plus 光罩檢查機回首頁

♦ 檢測最小線寬線距可達：10um
♦ 用於檢查光罩上線路瑕疵，在檢測
   方面利用邏輯比對(DRC)及資料比對
   (Data Reference)
♦ 高解析度取像系統，搭配自動對焦，
   改善高倍率下光罩變形產生離焦問題
♦ 全自動檢測參數設定、手動微調參數
   靈活易搭配
♦ 放置面積可調整且自動對焦克服光
   罩彎曲變形
♦ 可調式活動框架，符合各類光罩尺寸
♦ ignore blank area(忽略空曠區)
   與MDF(模型比對)相輔降低誤判率
♦ 雙硬碟備份作業系統，避免異常時
   停滯