TSL-FVT-DX3.5 底片/光罩檢查機回首頁

規格性能

機型	TSL-FVT-DX3.5 (資料比對+DRC邏輯比對)
檢查種類	底片/光罩
可測最小線寬/線距	15um
解析度範圍 (um/pixel)	1.5~9
檢查項目	針孔、異物、污點、銳角、短/斷路、水漬陰影、線寬/線距不足、異物凸出、線路缺口
放置面積	794 x 679mm (31.2 x 26.7 inch)
檢測範圍	710 x 580mm (27.9 x 22.8 inch)
外型尺寸/重量	L 1550 x W 1350 x H1600 (mm) / 約550kg
電源/電力需求	110/220 Volt (50/60Hz) 1 Phase / 3KVA 以下
消耗材料	氙燈燈泡 / 圓框印及補充液
工作環境	溫度：攝氏15度~30度溼度：35%~70%
光罩承載座	1.X,Y尺寸可調整 2.平面高度四邊可調整 3.最小光罩放置尺寸152x152mm(6x6inch) 4.最大光罩放置尺寸610x508mm(24x20inch)

‧ 備註：光罩承載座、消耗材料需選購