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TSL-FVT-DX3.5 底片/光罩檢查機                                        回首頁

♦ 用於檢查底片/光罩上的線路瑕疵，   在檢測方面利用邏輯比對(DRC)及 　 資料比對  (Data Reference)另 　 有底片或光罩的檢測平台可供選擇 ♦ 全自動檢測參數設定、手動微調參數    靈活易搭配 ♦ 缺點處畫面可自動快速瀏覽功能，    節省作業時間 ♦ 所有不同類型缺點以不同之顏色方框    顯示 ♦ ignore blank area(忽略空曠區)    與MDF(模型比對)相輔降低誤判率 ♦ 雙硬碟作業系統，避免異常時停滯