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TSL-FVT-DX3.0 底片/光罩檢查機

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                     量測功能

v 線寬量測、線距量測
v 圓PAD量測、方PAD量測、斜PAD量測
v 最近距離量測
v 輔助功能：長距離量測

‧提供線寬量測、線距量測、圓PAD量測、方PAD量測、斜PAD量測及最近
   距離量測；可用於驗証實際影像上的圖形大小是否正確
‧數值直接顯示於畫面上讓使用者更方便檢測
‧線寬/線距不足、pad大小不同時可直接對影像量測，迅速找出答案


      ▽線寬量測                       ▽線距量測                      ▽圓PAD量測
             


     ▽方PAD量測                  ▽斜PAD量測                 ▽最近距離量測
             

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‧輔助功能-長距離量測：可量測長距離的兩個特徵，做距離量測

▽第一步：選定使用之量測外型                      ▽第二步：第一點位置框選
              

    ▽第三步：第二點位置框選                          ▽最後：長距離測量結果
              

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