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TSL-FVT-DX3.0 底片/光罩檢查機                                        回首頁

 

                     DRC邏輯說明

v 利用邏輯比對的原理，將底片/光罩上的缺點檢測出來
v 各種要求檢測出的缺點，可以運用軟體參數設定來篩選
v 準確完成您的需求，藉以提高工作效率及準確度
v 在缺點顯示方面採用各種彩色框清楚的標明各式缺點

檢測項目
 
          ▽針孔                               ▽異物                             ▽毛屑
              

          ▽凸點                               ▽污點                             ▽斷路
              

          ▽水漬                            ▽線距不足                      ▽線寬不足
              

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忽略模型
‧目的：避開假點

     ▽原假點位置                   ▽忽略模型取樣             ▽標示出假點位置
               

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忽略空曠區
‧目的：重點檢測

     ▽污點缺點處               ▽忽略空曠區開啟               ▽避開較中間缺點
                                                                                     檢出靠近線路污點
                 

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避開銳角
‧目的：針對排版上的網格部份做避開的功能，以降低誤判率

                         ▽開啟前                                        ▽開啟後
                                     

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