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TSL-FVT-DX3.0 底片/光罩檢查機                                        回首頁

♦ 全自動檢測參數設定、手動微調    參數靈活易搭配 ♦ 缺點處畫面可自動快速瀏覽功能，    節省作業時間 ♦ 玻璃光罩檢測專用架，快鎖設計    調整方便容易 ♦ 所有不同類型缺點以不同之顏色    方框顯示 ♦ Design Rule Check與    MRD(模型比對)相輔降低誤判率 ♦ 雙硬碟備份作業系統，避免異常時    停滯