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TSL-FVT-Super plus 光罩检查机

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♦ 检测最小线宽线距可达：10um
♦ 用于检查光罩上线路瑕疵，在检测
  方面利用逻辑比对(DRC)及资料比对
  (Data Reference)
♦ 高解析度取像系统，搭配自动对焦，
   改善高倍率下光罩变形产生离焦问题
♦ 全自动检测参数设定，手动微调参数
   灵活易搭配
♦ 放置面积可调整且自动对焦克服光
   罩弯曲变形
♦ 可调式活动框架，符合各类光罩尺寸
♦ ignore blank area(忽略空旷区)与
   MOF(模型比对)相辅降低误判率
♦ 双硬碟备份作业系统，避免异常时停滞