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TSL-FVT-DX3.5 底片/光罩检查机

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♦用于检查底片/光罩上的线路瑕疵，
   在检测方面利用逻辑比对(DRC)
   及资料比对(Data Reference)另有
   底片或光罩的检测平台可供选择
♦ 全自动检测参数设定，手动微调
   参数灵活易搭配
♦ 缺点处画面可自动快速浏览功能，
  节省作业时间
♦ 所有不同类型缺点以不同之颜色
   方框显示
♦ ignore blank area(忽略空旷区)
   与MDF(模型比对)相辅降低误判率
♦  双硬碟作业系统，避免异常时
   停滞